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TL-S4000N光谱共焦位移传感头
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仪器型号
TL-S4000N
参考距离
16 mm
测量范围
±2 mm
光斑直径
12 μm
线性度
±0.05% of F.S.
采样频率
5 kHz
工业接口
以太网、USB、485串口、模拟信号输出、编码器触发输入
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产品详情
应用场景
晶圆高度测量
贴片机Z轴定位
电路板焊锡形状测量
曲面屏形状测量
电池平面度测量
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摄像头模组行程测量
深沟槽微纳结构形貌测量
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手机外壳特征段差测量
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