Φ485超精密陶瓷基盘
产品详情应用场景
超精密氧化铝陶瓷平面基盘
φ485-600mm陶瓷盘
加工过程中采用200mm口径632.8nm波长激光平面干涉仪检测并反馈至加工参数，最终可以控制平面度小于1um。
性能指标 | 数值范围 |
平面度 | ≤1um |
表面粗糙度 | Ra0.02 |
厚度公差 | ±0.01mm |
直径公差 | ±0.01mm |
平行度公差 | ≤3um |
平面度检测方式：
1. 根据激光干涉仪光栅尺检测整面各区域干涉图。
2、根据各区域干涉图计算面形。
φ100~360mm陶瓷盘
加工过程中采用204mm口径数字激光平面干涉仪检测并反馈至加工参数，最终可以控制平面度小于0.3um。
平面度检测方式：
1. 根据激光干涉仪光栅尺检测整面各区域干涉图。
2、根据各区域干涉图计算面形。PV=0.6um
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