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测量IC芯片组装的精度

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列测量不受目标物材质及颜色影响,可用来测量IC芯片组装时的平行度和浮脚。防止接触不良以及配件剥离等情况的产生。

测量用于Z轴自动对焦

TS-LTP系列激光位移传感器系列的亚微米级的高精度测量能力,可以用于机器视觉相机、芯片实装机机械臂、AOI相机的高精度Z轴定位与对焦。

测量贴装前芯片带的高度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采用非接触测量,光斑尺寸最小可达25μm,在贴装前能够对不断精密小型化的芯片组件进行高度测量,检测是否重叠。

测量PCB基板组件焊料高度

TS-LTP系列激光位移传感器系列嵌入了半透明目标精确测量算法,能够对PCB基板的组件和焊料的高度、基板的变形,以及半透明目标物进行测量。

测量回流焊浸焊槽的液位

TS-LTP系列激光位移传感器系列长距离型号的最大测量距离可达数米,同时达到亚毫米级重复精度,能精确测量焊料槽的液面高度。

测量手机触摸屏的电极形状

以往使用表面粗糙度仪进行测量,不仅费时,而且测量过的目标物只能废弃。TS-C系列光谱共焦位移传感器系列通过非接触式测量,时间仅为以往的1/10,而且无需废弃测量所用的工件,成功削减成本。

测量手机相机模块的行程

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点,即使在狭窄空间,也不会产生光路干涉,能够准确测量手机相机模块的行程。

测量手机曲面玻璃的形貌

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点,最大测量角度可达60°,最大Z轴量程可达10mm,能够测量整个3D曲面玻璃截面。

测量胶粘剂的涂胶量

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列具备同轴高精度测量的特点,即使在狭窄空间,也不会产生光路干涉,能够准确测量手机结构件中胶粘剂的涂胶量。

测量按钮的复位速度

传统的接触式传感器需要考虑测量头的接触压力所带来的影响。TS-LTP系列激光位移传感器系列采用70kHz的非接触式快速测量能准确检测到开关的一举一动。

测量电极材料涂层的厚度

TS-LTP系列激光位移传感器系列具备亚微米级测量精度,可用于电池薄膜生产线轮廓厚度的在线监测,横向布置多台传感器,可通过更小的间距对厚度进行管理。

测量振动马达的振动

TS-LTP系列激光位移传感器系列最高能够达到70kHz的采样速度,可捕捉手机振动马达轴向与径向上更加细微的振动。

测量CMOS的倾斜和缝隙

TS-C系列光谱共焦位移传感器系列可同时测量多个厚度尺寸,搭载CMOS前,可测量角度与单元盖板玻璃间的缝隙。

测量压电元件的振动

TS-LTP系列激光位移传感器系列通过70khz的超快速取样以及亚微米级别的测量精度,能检测到高速振动的压电元件极其细微的位移量。

测量连接器的引线和共面度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采样速度最高可达70kHz,光斑尺寸最小可达25μm,可实现对精密连接器的在线高速测量。

测量硬盘碟片和磁头的间距

TS-LTP系列激光位移传感器系列具备大动态范围和光量自适应调整功能,可高精度测量从镜面光盘到读取器金属面的高度。

测量机械手位置及残留振动

传输晶圆及掩膜板等工件时必须需注意的是,必须精确测量机械手的高度和保证残余震动彻底终止(TS-LTP系列精密位移传感器),防止与晶圆和掩膜板造成干涉,避免在下一道工艺流程中发生设备常见故障和生产加工欠佳。

测量石英槽厚度

由于传统机型难以定量化,因此一般规定试用次数和期间并实施定期维护。精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器可在非接触模式下精确测量石英槽的厚度,使维护时期的定量化成为可能。

加热器内托盘膨胀测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器通过玻璃窗口来测量喷洒加热器内托盘的膨胀程度,即使内部是真空或高温等极限环境也可以测量。

测量硅衬底控制退火深度

TS-LTP系列激光位移传感器测量硅衬底并控制退火深度。

测量溅射靶的厚度

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力,可实现高精度测量镜面溅射靶的厚度。

测量研磨板的厚度

每次使用研磨工序中的掩膜板后期表面都会产生磨损。传统机型通过对使用次数进行管理,实施定期更换。通过精密位移传感器TS-C系列光谱共焦传感器测量研磨板的厚度,可以准确把我最为适宜的更换时间。

测量切割片厚度

切割片的厚度一般仅有几十微米,生产加工后的切割片很有可能会发生刀尖缺损的状况。通过TS-C系列精密位移传感器按时对刀片的厚度开展精确测量,能够减少维护保养需要的工时。

掩膜高度控制与玻璃基板厚度测量

光谱共焦位移传感器测量到掩膜的距离并将其调整到最佳高度,然后在玻璃基板通过其上时测量厚度。

测量硅晶棒尺寸

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的高动态范围光强调整能力,可以用于高反射率的晶体的测量。

测量基座的摆动及离心率

在旋转基座时采用非接触测量的方法,可以避免接触式传感器的压力而引起涂层的缺陷,用于测量基座的摆动及离心率。

检测晶圆位置

使用精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器的超长距离型号,可以测量1m以外的位置,透过视口高精度地测量晶圆的高度及倾斜等状态。

测量掩膜的移载挠曲量

通过TS-LTP系列激光位移传感器测量掩膜的距离,控制吸附机器人,以免在掩膜转移过程中损坏昂贵的掩膜。

测量目标材料的磨损形状

成膜工序中使用的目标材料每使用一次,其表面就会磨损一次。磨损状况会根据表面处理的种类和注入气体的条件不同而不同。因此,通过采用精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器定期确认磨损量,可以准确把握适宜的更换时间。

测量液晶玻璃厚度等参数

非接触型精密位移传感器TS-LTP系列可以用于测量液晶玻璃的厚度、平整度、翘曲和波纹度。

晶圆Z轴定位

精密位移传感器TS-LTP系列激光位移传感器在晶圆z轴定位中的应用,可以用于相机和切割片更准确地对焦,即使更换被测量仍然可以进行稳定的测量。

测量晶圆的平面度和厚度

精密位移传感器TS-C系列光谱共焦位移传感器非常适合用于反射率高的表面测量,可以用于机械臂上晶圆的平面度和厚度的测量。

机器人手臂的定位

对于机器人来说,加工与工件倾斜位置平行的位置可能很困难,通过使用多个TS-LTP系列激光位移传感器,可以反馈臂尖端和工件之间的相对关系。

变速箱零件平面度测量

TS-LTP系列激光位移传感器可用于变速箱传输零部件的平面度。

检测轴承的滚子脱落和偏转

采用TS-C系列光谱共焦位移传感器测量旋转轴承的滚子数量从而检测是否存在脱落。同时可测量内轮的表面偏转,该偏转会导致振动和噪音,以往使用振动传感器或麦克风进行检测,但难以抵抗周围环境的影响。

测量车体的宽度和倾角

使用可距离1m进行测量的高速激光位移传感器TS-LTP系列,可测量车体的宽度和车门的倾角。通过光量自动增益控制算法,可不易受表面状态差异的影响,实现稳定测量。

测量气门的冲程

高速运动的气门对发动机耗油量性能影响较大。TS-LTP系列激光位移传感器可通过70kHz的高速采样,准确捕捉目标物的运动。

测量消声器的振动

消音器的振动测量和共振分析是与车辆的乘坐舒适性和安全性息息相关的重要评估项目。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器,可对目标物进行无负载测量。还可测量高温目标物。

测量超声波焊接机的振幅

汽车中所使用的材料在逐年演变。随着发展,仪器的设定条件也在追求着每次的不同内容。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器,可测量超声波焊接机的振幅。

测量模具的磨损量

长期使用模具时会加大磨损。以往需定期进行修正,但通过TS-C系列光谱共焦位移传感器测量可优化维护批量。

管理皮带材料的厚度

通过TS-C系列光谱共焦传感器在线管理各种皮带或薄膜材料中使用的材料厚度,可有效提高成品率。加工后立即进行测量,也可有效消减调整工时。可在控制器内进行计算,轻松实现同步测量。

测量汽车电子精密连接器的引线和共面度

TS-LTP系列激光位移传感器系列采样速度最高可达70kHz,光斑尺寸最小可达25μm,可实现对汽车电子精密连接器的在线高速测量。

拉伸压缩试验机的静态检测

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量试验片的伸长量。

测量马达磁心的积层厚度

积层马达磁心的性能因积层的层数而异。通过在铆接前采用TS-C系列光谱共焦传感器在线测量厚度,可确认是否已切实安装了规定张数,有效防止不良品流出。

空气悬挂检测

借助TS-LTP系列激光位移传感器同时多点测量功能,可即时检测空气悬挂性能。

定位角测量

通过高动态光量增益控制算法,TS-LTP系列激光三角位移传感器即使在倾斜的暗色物体上也可以进行稳定的测量。

制动盘厚度及跳动测量

通过加宽激光光点,TS-LTP系列激光三角位移传感器可抑制表面粗糙度引起的测量值的变化,实现稳定测量。

进给杆的间隙测量

通过测量进给杆或导轨的磨损和晃动,可优化设备更新的周期。使用TS-LTP系列非接触激光位移传感器,可在不停止设备的状态下进行设定。

开模行程测量

冲压的冲程运动可能会导致拉伸成型无法顺利进行,从而产生裂缝。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器的长距离型号,可有效缩短调试时间。

测量毛坯材料的厚度和重叠

采用TS-LTP系列激光位移传感器在冲压前检测胚料的重叠,可有效预防金属模的破损。即使各批产品的表面状态不同,也可通过光量自动增益控制实现稳定检测。

检测卷取机始端

采用TS-LTP系列激光位移传感器通过台阶检测薄板线圈内测的薄板尖端部分,并粘贴产品标签。

检测钢管的位置

钢管从热轧流程中退出时温度很高。TS-LTP系列能从高达1m的距离外检测钢管的位置,不会受到高温的影响。

测量钢板的凸面量

将TS-C系列位移传感器夹在上下两处测量厚度。使用宽光点配置,将目标物的拉丝影响抑制在最小范围。通过测量钢板的凸面量,可准确掌握轧制状态。

测量辊轮凸面量和磨损

采用非接触高精度的TS-LTP系列传感器在辊轮车间研磨的辊轮凸面量,产品阵容具备可稳定测量镜面目标物的规格,可应对各种辊轮。

测量连续铸造机的辊轮间距

在引锭杆中配备TS-LTP系列激光位移传感器,测量辊轮的间距。由于可透过玻璃进行测量,因此可在短时间内测量辊轮的缝隙,从而大幅削减维护工时。

测量连铸机的振动

为了减少振动波纹,可采用TS-LTP系列传感器定量管理铸模的振动。通过70kHz的高速采样,可准确测量出铸模的振动运动,避免损伤铸模,维持机器的耐久度。

测量电镀槽的液位

在耐热外壳中安装测量部,采用TS-LTP系列激光位移传感器通过玻璃持续监控电镀槽的液位,可确保涂覆条件始终如一,因此可大幅削减维护工时。

测量喷嘴与涂覆钢材的间隙

通过TS-LTP系列激光位移传感器控制喷嘴与被涂表面之间的间隙来保持气体压力始终如一,这可以减少涂层质量的波动。

测量扁钢坯的宽度和形状

即使是传统非接触位移传感器无法测量的高温金属物体,也可使用TS-LTP系列激光位移传感器超长距离型号对扁钢坯的宽度和翘曲度进行稳定测量。

测量轧制钢板的垂度

TS-LTP系列可以测量轧制钢板的垂角,借此来帮助保持钢板穿过烤箱的时间一致,减小不同批次钢板之间的差异。

测量冷轧钢材的厚度

使用传统的X射线仪测量厚度时,测量值会因密度或组成的不同而发生变化。TS-LTP系列能可靠地同步测量不同的厚度,自动光量控制功能能够忽略表面颜色的变化而稳定的测量厚度。

开模行程测量

冲压的冲程运动可能会导致拉伸成型无法顺利进行,从而产生裂缝。通过使用TS-LTP系列激光位移传感器的长距离型号,可有效缩短调试时间。

光伏晶硅片平整度厚度检测

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量太阳能基板的厚度和平整度。

光伏电池板抗风压变形测试

采用TS-LTP系列激光位移传感器用于太阳能电池板的抗风压变形测试设备上,检测太阳能电池板的变形程度。

光伏电池板组装精度测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器测量光伏面板的组装精度。

测量箔纸切割后的端面起伏

检测分切金属箔时产生的起伏。通过具备70kHz高速测量能力的TS-LTP系列激光位移传感器,可精准捕捉高速通过的箔纸端面形状。

测量马达磁心的积层厚度

积层马达磁心的性能因积层的层数而异。通过在铆接前采用TS-C系列光谱共焦传感器在线测量厚度,可确认是否已切实安装了规定张数,有效防止不良品流出。

测量电极材料涂层的厚度

TS-LTP系列激光位移传感器系列具备亚微米级测量精度,可用于电池薄膜生产线轮廓厚度的在线监测,横向布置多台传感器,可通过更小的间距对厚度进行管理。

隧道表面形貌测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器超长测量范围的型号,通过周向布置能够高效获得隧道表面形貌数据。

桥梁梁体位移量监测

替代早期桥梁人工维护的工作,采用TS-LTP系列激光位移传感器进行长期的非接触测量,为科学管理、监测桥梁病害提供科学的依据。

列车车轮磨耗及圆度测量

采用TS-LTP系列激光位移传感器定期对列车车轮进行表面磨耗及圆度测量,便于列车零部件的质量维护。

铁轨磨损变形程度检测

采用TS-LTP系列激光位移传感器,内嵌杂散光抑制算法,测量得到铁轨外形曲线及磨损变形程度。

路面形貌测量

在路面检测车前端布置10个以上TS-LTP系列激光位移传感器,能够在70kHz测量速度下可靠获得路面的形貌数据。

路面平整度测量

与传统人工测量设备不同,采用非接触高速测量激光位移传感器TS-LTP系列,能够搭载在车载设备上,快速完成路段的平整度测量。

齿轮基圆半径测量

2020-11-27

电机铁芯厚度测量

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离合器摩擦材料形状测量

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深沟槽微纳结构形貌测量

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压延玻璃曲率测量

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金属3D打印层厚度测量

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